第八十九章：范学东
第八十九章：范学东 (第2/3页)
，因此各研究所的技术员，他们的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲，他们已经不弱于国内各大研究所的科学家，在某些方面甚至超过他们。谁让沈丹青成立了技术信息部这么一个专业的间谍组织呢！所以说一家企业有钱还是有点用的。
“这得多浪费啊！，可能只一半有用吧！”郭东发出了感慨。其它人也都点头，认同他的观点。
“这已经算好的啦！国外还不如我们呢！这还得归功于你们制造的单晶硅生长炉非常精密。不过你们也不要担心，剩下的我们还可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向他们解释道。
“那这些油呢？有什么清洗液吗？”郭东又指着外层的油问他。
“当然有，并且还需要清洗两次，最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后，还要烘干。”范学东又向他们科普了一番。
“啪啪啪！”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说：“好啦！大家也了解的差不多了，我刚才仔细地思考了一下，发现问题还很复杂，远远不是老板所说的几台机器那么简单。”
说完，他就走到一张画图的办公桌边，拿了一张绘图纸和一支笔，先勾画了一个抽象的草图。他指着图上的两个图案说：“我把整套设备规划成两部分，一部分是不需要的氩气环境下工作的，另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”
说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图，他拿笔指着其中一个说：“我们首先要切断，因为是大物体切断所以不需要太精密，我设想就是一台机床就可以了，反正后续还有许多加工处理步骤。不过要注意，在切断的时候要加防氧化油，把棒材的两个横载面涂抹油，目的是防止氧化。”
说完这些他就又用笔指着另外一个图案说：“切断之后就要把硅棒滚圆，使它符合硅晶圆基片的大小要求，并且保持整根棒材圆整度的一致性，在这个加工步骤中，也要加防氧化油，使整根棒材外表有油保护，防止氧化。”
说到这里，他又用笔指着另一个图标说道：“到了这一步，就必须在氩气环境内进行下一步了，因此，我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”
“等等，郭部长，清洗和烘干这两个步骤，光刻机、离子注入机和CVD机都要用到，而且你还忘了，回火这个步骤，单硅晶棒在切薄片的时候，因温度过高的原因会变形，因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士，比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒！范先生。”郭东不知如何称呼他的职务，只好叫他先生了。
“没什么，我们不是一起解决问题嘛！”
范学东摇着手，客气道。
“好！既然是这样，那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体，只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。
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