第一百零四章 传统的手段

    第一百零四章 传统的手段 (第2/3页)

机械抛光过程中,是主要存在化学腐蚀作用和机械磨削作用。

    材料的去除,首先源于化学腐蚀作用。一方面,在抛光过程中,硅片表面局部接触点产生高温高压,从而导致一系列复杂的摩擦化学反应。

    纳米二氧化铈抛光液,其具有较高碱性组分和较柔软的纳米磨料颗粒。

    在这两者作用下,使硅片表面形成腐蚀软质层,从而有效地减弱磨料对硅片基体的刻划作用,提高抛光效率和抛光表面质量,相应的,提高抛光后硅晶片的精度。

    …………

    半个小时的时间,一晃眼就过去。

    机器和硅晶片摩擦的声音逐渐减小,直到消失。

    设备停下后,张经理和黄师傅齐齐把目光看向顾律。

    顾律笑了笑,“拿出来吧。”

    黄师傅小心翼翼的将通过使用二氧化铈抛光液制得的硅晶片取出来。

    “你们用什么设备看?”顾律扫视了一眼,发现这边并没有显微镜之类的设备。

    “楼上有一台原子力显微镜。”张经理笑着开口。

    原子力显微镜?

    顾律知道,这玩意似乎贵的很。

    再次回到那栋五层小楼,不过那台原子力显微镜就在一楼,倒是省去了爬楼的功夫。

    走进那栋十几平的小房间,顾律一眼就看到了张经理口中所说的那台原子力显微镜。

    “米国DI公司产的Mutimode SPM版原子力显微镜?”在实验室待过一段时间的顾律,一眼就认出来。

    “你们买的?”顾律扭头看向张经理。

    据他所知,这台显微镜可不便宜,市场价,大概在二三十万元!

    就算是大部分高校的实验室,都买不起这台设备。

    张经理苦笑着摇摇头,“租的。”

    顾律:“……”

    好吧,看这家公司连买二十多万的抛光机设备都心疼成这样子,让他们买一台二十多万的显微镜几乎不可能。

    但租的话……似乎也不便宜啊!

    顾律凑近显微镜看了一眼。

    “这是个残次品。”还未等顾律看出来什么,张经理主动问顾律解释,“这台是淘汰下来的,几百块

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