第120章 天还没亮,院士直接杀到孙博家!

    第120章 天还没亮,院士直接杀到孙博家! (第3/3页)

群专家直接找他家里来了,他才意识到事情比较大发。

    “这东西很先进?”孙博张口就问出了一个很傻的问题。

    “先进不先进要看怎么去看待这个事儿。”刘院士摇了摇头:“单从精度结果上看,确实算不上先进。

    “早好几年,水木大学和沪上微电子就成功的搭建了运动精度为 10nm的气浮工件台为基础的光刻机。那个运动控制的最高精度甚至可以达到 2nm,比你手里的这份数据强多了。

    “但是,你知道为什么,沪上微电子的三台28nm光刻机验证机一直在验证,还没有办法向晶圆厂批量交付吗?”

    “啊?”孙博懵了,“啊”了一声,心道:这我哪儿知道这个啊,我只会数学啊,要不要你给我一批数据,我给你们算算,兴许能算出来点儿什么,你这干问,我上哪儿知道去。

    “算了,我给你说这些干什么!”刘院士摆了摆手:“你只需要知道,你这个精度数据,它怎么也说不上先进。”

    不先进你来干什么,孙博很想问一句,但是他没有吱声,知道刘院士必有下文,果不其然,他的“但是”立即就来了:

    “但是,虽然数据不先进,但是理论先进,而且这个模型根本就不是先进所能解释的了,我其实也没完全看明白。

    “但我敢保证:如果能利用起来,不说EUV光刻机,至少1980di这个级别的,我们立即就能实现量产!

    “这就已经能解决很多问题了,华为现在的高端制程芯片就是用这个级别的光刻机通过4重6重套刻实现的——至少,产能这一块儿不再需要担心了!

    “理论这么先进,那为什么我说它的数据不先进呢?是因为硬件设备太落后!”里边的很多数据刘院士一眼看起来就很熟悉:

    “学校的教学实验室一直用的光刻机产生的数据就这些,我用了很多年啊,虽然看起来有些变化,但那个规律,别说些许变化,烧成灰我也认得出来!

    “教学实验室你总该知道,那里的一台光刻机几十万到天了,用那玩意儿就能做到这个精度数据,这简直逆天了!

    “还有最后这一对方程,这是干什么的?我没看懂!求收敛分布,这……”

    刘院士正要解释一下自己的疑惑,然而说着说着忽然顿住了:“我跟你解释这个干什么,你快先告诉我,这数据哪儿来的!”

    ……

    于是,就有了刚才孙博打给纪弘的那个语音电话……