第324章 工厂奠基,购买光刻机
第324章 工厂奠基,购买光刻机 (第2/3页)
8纳米不尝试下吗?”陈平江好奇问。
“呃……”二老你看看我,我看看你,苦笑一声。
“我们能在最短时间内突破32纳米就不错了,至于28纳米想都不敢想,目前应该也只有台积电,在研发上比较领先,有望今年量产。”
张老也道:“主要是太难了。”
在这个时间节点上28纳米就是最先进的,是这个年代的先进制程。
28纳米就是一个大节点。与40纳米工艺相比,28纳米栅密度更高、晶体管的速度提升了约50%,每次开关时的能耗则减小了50%。
陈平江在脑海里想了想措辞:“我之前有了解过曝光技术。当时很好奇为什么不通过多次曝光来提升光刻的效率和精确度。”
多重曝光即用多个掩膜板,在同一块晶圆上进行多次光刻操作,将不同的图案叠加在一起,形成更细微的图案。这相当于用多个胶片拼接出一个更精细的图像。
梁老笑着道:“看来平江你的确了解过,不过你了解的可能不全面,行业里面倒是听过有两次曝光的,但多次的话,估计还真没有。不是说做不到,而是生产出来的芯片良率过低,成本过高,最终得不偿失。假设我们一次曝光的良率和台积电相同,都能达到90%,经过四次曝光后的芯片良率为0.9×0.9×0.9×0.9,也就是65%。”
“这个良品率太低了,我们得卖什么样的价格给客户?客户最终又接受不接受我们的价格?所以说还不如买最新的DUV光刻机经过一次曝光。”
陈平江笑着点头,“我就是随口说说。假如先用一个掩膜板,在晶圆上刻出一个较粗糙的图案,然后在图案上覆盖一层如氧化硅,再用另一个掩膜板,在硬质材料上刻出一个较细致的图案。最后去掉硬质材料和多余的部分,只留下最终想要的图案。这相当于用两个胶片分别放大和缩小一个图像,再将它们重合在一起。”
“当然了,我们就是瞎聊,我也不懂,二老不要笑话我才好。”
谁知道陈平江刚刚说完,张汝京和梁孟松嘴巴张得老大,一副看怪物的模样看着陈平江。
“这是别人和你说的还是你想到的?”
陈平江假模假样的摆摆手:“我不说了不说了,哈哈,都说我不懂了。”
下一秒,梁老直接抓住了陈平江的胳膊追问:“你说的方案极有可能实现,即便不如用更好的DUV来生产,但也绝对是能够达到目标的方案。”
陈平江摆出一副讶异的模样:“是吗?我真的不知道,就是随便说说的,以前看过相关方面的书籍,然后里幻想过。”
张汝京也惊叹:“这样的话大概能解决一部分良率的问题,实在不行我们可以再进行一次类似操作。”
“绝对性,这等于就曝光两次,但是我们必须研发一套专用的设备。”
张汝京和梁孟松对视了一眼,当看到了华芯国际弯道超车的希望。
两人眼中不约而同迸发出非一般的神采。
真是天才般的构想。
两人甚至连接下来的奠基仪式都没什么心思参加了,恨不得去复旦大学的实验室验证下。
梁孟松看向张汝京:“老张,我们要提前建立个实验室,等不了工厂落成。争取在工厂投产前就把相关技术研发完毕吗,并且申请专利。”
张汝京点点头:“我赞同。但这其实等于一条捷径,我们还是不要疏忽了正常的研发。”
“那当然。但你不能否认是个好办法,绕开了诸多的专利限制,生产出同样的产品。而且,在后面规格的先进制程一样可以采用。等到我们能够和台积电走到同一起跑线后,我们完全可以集中精力研发14纳米乃至7纳米的芯片。”
两人兴奋的搓搓手,“平江,你不进行芯片的研发真是可惜了,否则芯片界绝对多出一位大牛。”
陈平江傻呵呵的笑:“那还是算了,如果我只是研究芯片,就没人投资了。”
嘴上这么说着,陈平江实际上心里忍不住擦了擦冷汗。
妈的,这种外行指点内行的事情也太难了。
还好之前自己看过华为的四重曝光技术,才能一知半解的说出来。还不能太专业,太专业人家肯定能看出问题来,但又不能啥也说不出来,那样等于没说。
车内。
梁孟松和张汝京展开了激烈的讨论,不断验证种种技术的可操作性,陈平江什么都听不懂,跟局外人一般。
好不容易到了地方,连忙下车透了透气。
一条几百米的红毯,直接从马路这头延伸下去。
一直延伸到一个巨大的沙盘附近。
光是这个20平的沙盘造价都不菲,一平米要花3万元,这20平可就是60万。
看着不大,制作难度却很高。尺寸面积越大,打磨时间越长。
当然了,这钱也不用陈平江花,沪上市政府赠送的。
上午10点,在骄阳如火下,奠基仪式正式开始。
陈平江作为唯一投资人,和各种领导不停的握手。
仪式一直持续到中午才结束。
到了下午一样没闲着,二老又拉着陈平江讨论设备购入的问题。
晶圆厂这种吞金兽,厂房厂区都不值钱,唯一值钱的就是种种设备。这些设备大多要在国外采购,算上工厂生产和运输的时间,有些大家伙现在就要做准备了。
如果等到工厂落成再去订货,就太耽误时间了。
陈平江问道:“光刻机怎么办?”
梁孟松笑着摇摇头:“难办。如果按照《瓦森纳协定》去年更新的禁售列表,最先进的设备都是不允许销售给国内的,基本上要晚上两代的产品才可能进入国内。现在最先进的NXE:3100型号的EUV有钱也买不到,只能买DUV。我特地查了下,四年前生产的XT:1900i不在禁售列表,说明我们可以购入。”
听的陈平江都无奈了,绕来绕去绕不开的瓦森纳协定。以前没觉得,只有真的进入这个行业时,才能感受种种无奈。
只能买到别人四年前的产品,这就基本差
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